無(wú)塵布如何檢測(cè)？我們?cè)谫?gòu)買(mǎi)、制作無(wú)塵布時(shí)，都會(huì)對(duì)無(wú)塵布的質(zhì)量、使用效果是否明顯等做一系列的檢測(cè)，而我們卻不一定會(huì)以及了解無(wú)塵布的檢測(cè)方法，那么在此就與大家來(lái)大致的了解下無(wú)塵布檢測(cè)的一些方法：
用戶(hù)主要通過(guò)擦拭布的材質(zhì)、吸收率、潔凈度和費(fèi)用來(lái)評(píng)估無(wú)塵布。在半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈室中對(duì)無(wú)塵擦拭布?jí)m粒、離子、ESD等有很高的要求。IEST-RP-CC004.3提供了一些評(píng)估無(wú)塵擦拭布的方法。
無(wú)塵布需進(jìn)行嚴(yán)格測(cè)試以達(dá)到性能要求和污染控制標(biāo)準(zhǔn)，一般無(wú)塵布需進(jìn)行以下測(cè)試：
無(wú)塵布抗磨損性測(cè)試
通常，抗磨損性測(cè)試屬于布料物理性質(zhì)的測(cè)試。但在無(wú)塵布的測(cè)試中，因?yàn)槟p的過(guò)程會(huì)產(chǎn)生塵粒，因此，將無(wú)塵布的抗磨損性測(cè)試歸納為污染控制范圍更合適。
*測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：抗磨損性越強(qiáng)越不容易產(chǎn)生塵粒。
無(wú)塵布基重測(cè)試
根據(jù)ASTM-D-3776測(cè)試無(wú)塵布單位面積的重量 *參考測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：一般要求在150－300g/m2
無(wú)塵布吸液量和吸液速度測(cè)試
根據(jù)IEST-RP-CC004.3第8節(jié)要求，需測(cè)試無(wú)塵布的吸收量和吸收速率。 吸液量反映的是單位面積的無(wú)塵布的吸收液體的毫升數(shù)。 吸液速率是指無(wú)塵布吸收10ml液體所需的時(shí)間。 以上兩種測(cè)量都須測(cè)量三次并計(jì)算平均值 *參考測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：吸液量一般不小于400g/m2
無(wú)塵布吸液速度一般不大于1秒。
IC測(cè)試 根據(jù)IEST-RP-CC004.3第7.2節(jié)要求，定性定量地測(cè)量無(wú)機(jī)陰陽(yáng)離子含量。
*參考測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，在磁頭行業(yè)，一般要求CL-≤0.03ug/cm2; SO42-≤0.03ug/cm2; NO3-≤0.03ugcm2; Total:＜1.0ug/cm2
NVR測(cè)試 根據(jù)IEST-RP-CC004.3第7.1節(jié)要求,測(cè)試單位面積上的不揮發(fā)性殘留物。 NVR測(cè)試是將無(wú)塵布浸泡于一定量的溶劑中一定量的時(shí)間，然后將無(wú)塵布取出，測(cè)試溶于溶劑中的不揮發(fā)性殘留物的質(zhì)量。
*參考測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：在磁頭行業(yè)，一般要求＜3.0ug/cm2
LPC測(cè)試 根據(jù)IEST-RP-CC004.3第6.2.1節(jié)的要求，對(duì)無(wú)塵布進(jìn)行LPC測(cè)試。 LPC可測(cè)試無(wú)塵布上的液態(tài)塵粒數(shù)。
LPC測(cè)試是將無(wú)塵布浸泡在一定量的DI水中，經(jīng)過(guò)超聲波振蕩，檢測(cè)DI水中的塵粒濃度。
*參考測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：在磁頭行業(yè)，一般要求＜30counts/cm2
無(wú)塵布FTIR測(cè)試 傅立葉變化紅外光譜測(cè)試
*參考測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：一般不允許有硅油、氨基化合物、增塑劑。
無(wú)塵布GC測(cè)試
GC測(cè)試是用來(lái)分析無(wú)塵布上有機(jī)污染物種類(lèi)和含量的一種方法。
*參考測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：在磁頭行業(yè)，要求Total:＜10ug
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